2022年的这些光学关键词，会继续影响2023年吗？ 当今世界离不开信息产业（IT），信息产业离不开半导体集成电路（IC）芯片制造技术，即微电子技术。IC芯片制造工艺中最关键的就是光刻技术。 光刻技术与我们的生活息息相关，我们用的手机、电脑等各种各样的电子产品，里面的芯片制造都不开光刻制造。 在今天看来，晶体管发明以后，集成电路的出现一直到今天超大规模集成电路的出现，似乎是一件水到渠成的事情。自从1958年世界上出现第一块平面IC开始，光刻技术60年间，一次又一次突破分辨率极限，使得微电子技术以…